شیرها در سیستم های خلاء: انواع، نرخ نشت و راهنمای انتخاب

سیستم‌های خلاء الزامات منحصر به فردی را برای شیرها تحمیل می‌کنند و شیرها در سیستم‌های خلاء: انواع، نرخ‌های نشت و راهنمای انتخاب، انواع، نرخ‌های نشتی، مواد و قوانین انتخابی را توضیح می‌دهد. این راهنما رژیم‌های خلاء، خانواده‌های دریچه‌ها، آب‌بندی و آزمایش‌های مهم را پوشش می‌دهد.

خدمات خلاء چه نیازی به یک شیر دارد

در سرویس خلاء جهت نشت به سمت داخل است: هوای اتمسفر از طریق هر نقصی به سیستم نشت می کند و فرآیند را آلوده می کند. بنابراین، یک شیر خلاء باید در برابر فشار اتمسفر از خارج، که نیاز به آب بندی محکم، مواد با گاز خروجی کم و ساختار تمیز دارد، آب بندی شود. دریچه همچنین نباید حجم هایی را که به آهستگی تخلیه می شوند به دام بیاندازد، و باید در جایی که سیستم به آن نیاز دارد، از پخت و پز زنده بماند.

رژیم های خلاء و وظیفه شیر

خلاء خشن (تا حدود 1 Pa)، خلاء بالا (تا 10-4 Pa) و خلاء فوق{5}}بالا (زیر 10-7 Pa) تقاضاهای بسیار متفاوتی را برای شیر ایجاد می‌کنند. سیستم‌های خشن و خلاء زیاد معمولاً از شیرهای-آببندی شده نرم استفاده می‌کنند. خلاء فوق العاده بالا به شیرهای آب بندی شده فلزی و قابل پخت با گازهای خروجی بسیار کم نیاز دارد. میزان نشت مورد نیاز و دمای پخت، طراحی دریچه را مشخص می کند.

انواع شیر برای خلاء

دریچه‌های دروازه نیروی کار برای دهانه‌های خلاء بزرگ هستند که در هنگام باز رسانایی کامل می‌دهند. دریچه‌های زاویه‌ای و سوپاپ‌های زاویه{0}راست برای نصب‌های فشرده مناسب هستند. دریچه های پروانه ای و توپی در خلاء کمتر استفاده می شود. راه اندازی پنوماتیک و شیر برقی برای اتوماسیون و عملکرد چرخ دستی یا چرخ دستی برای دریچه های سرویس رایج است. هر نوع با مهر و موم نرم یا فلزی موجود است.

میزان نشت و آب بندی

نرخ نشت بر حسب Pa.m3/s یا mbar.l/s (و از نظر تاریخی atm.cc/s) بیان می‌شود. یک شیر خلاء نرم{5}}درزبندی شده دارای نرخ نشت کمتر از 10-6 Pa.m3/s است، در حالی که شیرهای آب بندی شده فلزی-برای UHV کمتر از 10-9 Pa.m3/s هستند. مهر و موم ها حلقه های O از فلوئوروالاستومر FKM یا سایر الاستومرهای با گاز خروجی کم برای خلاء متوسط ​​و مهر و موم های مس یا سایر فلزات برای سرویس UHV قابل پخت هستند. میزان نشتی با آزمایش نشت هلیوم تأیید می شود.

مواد و قابلیت پخت

دریچه‌های خلاء از فولاد ضد زنگ با روکش‌های-با گاز خروجی کم ساخته شده‌اند و درزگیرهای الاستومری دمای پخت را محدود می‌کنند: فلورالاستومر FKM حدود 150-200 درجه سانتی‌گراد اجازه می‌دهد، در حالی که طرح‌های مهر و موم شده فلزی تا دمای 300 درجه سانتی‌گراد و بالاتر برای UH پخت می‌شوند. فلنج ها از ISO 1609 (KF/ISO-K)، فلنج های فلزی مهر و موم شده CF برای UHV و الگوهای ANSI برای اندازه های بزرگتر پیروی می کنند. مواد و پایان تعیین کننده فشار پایه قابل دستیابی است.

قوانین انتخاب

شیر را بر اساس رژیم خلاء، اندازه سوراخ، میزان نشتی مورد نیاز، قابلیت پخت و راه اندازی انتخاب کنید. رسانایی مورد نیاز در موقعیت باز، میزان نشتی مجاز بر حسب Pa.m3/s، استاندارد فلنج و فشار در سمت جو را بیان کنید. برای خلاء فرآیند، سازگاری رسانه و دما نیز اعمال می شود.

سوالات متداول